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1、另一说法,SCCM 是质流单位(Mass flow),与一般常用的流量单位是不同的,常见的流量单位例如: 1cc/sec.是代表单位时间流过之体积,而质流是表示单位时间通过的气体莫耳数,这种单位通常用於化学反应中,如CVD等需要精确控制原子成分比之场合(理想气体公式: PV=NRT,当处在标准状态下,气体体积比等於莫耳数比,所以只要控制气体的质流比就等於控制反应气体之莫耳数比)。
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